10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z2.125
TFT的热电特性及其在室温IRFPA中的应用
描述了非晶硅薄膜晶体管(TFT)的热电特性,表明TFT是一种有潜力的室温红外焦平面阵列(IRFPA)的敏感元件,介绍了集成式8×8TFT IRFPA的主要制作工艺,并给出了实验结果.
薄膜晶体管、非晶硅、热、电、室、温、IRFPA
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TN3(半导体技术)
国家自然科学基金59995550-1;面向21世纪教育振兴行动计划985计划
2003-12-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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