10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z2.113
用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计
研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-D MEMS电感,并研究了电感制造的工艺流程.
射、频、3-D MEMS、电、感
24
TN4(微电子学、集成电路(IC))
2003-12-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
249-250