10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z2.112
紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用
研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用.实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究.结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结构复杂的三维微机械电感的制作提供了保证.
紫外厚胶光刻、3-D MEMS、电、感
24
TN4(微电子学、集成电路(IC))
2003-12-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
247-248