白光干涉法测量金属箔厚度

摘要：

利用白光作光源的干涉仪[WLI]克服了单色相干光干涉相位不确定的缺点,能够进行绝对测量.同时,白光光源的稳定性和低廉的价格也是此项技术的优势,因此白光干涉测量法在近十几年得到了很大的发展.本文提出了用白光干涉原理测量金属箔厚度的方法,经分析,测量的理论误差＜6nm,开辟了白光干涉法测量非透明物体厚度的新思路.

关键词：白光干涉、无损检测、干涉谱

所属期刊栏目：24

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2003-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：19-20,24