拼接干涉测量技术

摘要：

利用相关拼接技术实现光学波面检测,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本.获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键.简述了采用相移技术测量子孔径波面的关键技术.两个子孔径之间的拼接是比较容易的,但采用两两拼接的方法会有很大的误差累积.因此采用了具有误差均化作用的拼接方法,该方法本质上是一种并行的方法.文中简述了该拼接方法的数学模型和求解方法.最后给出了拼接的实测结果.

关键词：光学波面检测、子孔径测量技术、相关拼接技术

所属期刊栏目：24

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：上海市青年科技启明星计划01QA14201

在线出版日期：2004-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：608-612