硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展

摘要：

分析了硅各向异性腐蚀模型及其模拟的研究现状.介绍了两类主要的腐蚀模型-几何模型和原子模型各自的特点、利弊及发展变化的趋势,最后又列举了几种成熟的、应用不同模型的模拟软件.

关键词：各向异性腐蚀、模、型、硅、微机械加工

所属期刊栏目：24

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：教育部科学技术基金00065

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：81-85