基于CCD的高精度非球面测量与控制技术

摘要：

高精度非球面具有广泛的、潜在的应用前景,非球面加工中的表面精度测量及补偿控制是制约其加工过程的关键因素.提出了基于CCD成像技术在线动态测量非球面的表面精度,研究了在线动态测量控制的结构方案,建立了基于CCD作为测量环节的计算机控制光学表面成形系统,提出了对表面精度的加工采用宏观形貌和微观形貌分段测量与控制的方法.

关键词：非球面、表面精度、CCD成像、测量与控制

所属期刊栏目：23

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：厦门大学校科研和教改项目Y08004

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：184-185