一种微透镜--针孔阵列合成器件的制作方法

摘要：

微透镜阵列与针孔阵列的组合光学器件是全场共焦检测系统中的一个关键器件.微透镜中心与针孔中心要求严格对准,相应的装配对准精度应控制在几微米之内.本文给出了一种可进行5自由度高精度调节,并利用光学显微镜进行实时监测的对准方法.

关键词：微透镜与针孔阵列合成器件、共焦测量、显微镜、5自由度调节

所属期刊栏目：23

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60077031;西安交通大学校科研和教改项目0000063

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：271-272,277