提高四边形电极结构二维PSD线性度的研究

摘要：

在对单表面分流四边形电极结构二维PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上[1],从理论上计算得到了这种结构PSD的位置修正因子,并提出了一种对这种结构PSD的位置非线性进行修正的方法.初步实验取得了非常满意的结果:经过修正后,在较大尺寸(13mm×13mm)器件上实现了60%光敏面范围内的位置非线性均方根误差0.15%,位置检测均方根误差从原来的±1010μm减小到±20μm.最大误差从±1500μm下降到±50μm.由于进行了归一化处理,该方法适用于这种结构不同尺寸的PSD,特别具有实用意义.

关键词：四边形电极结构、PSD、位置测量误差、线性度、修正因子

所属期刊栏目：23

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：教育部重点项目;福建省教育厅科研项目JB00084

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：268-270