基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究

摘要：

本文探讨了一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺.该继电器的特点是体积小、重量轻、寿命长等,在性能上介于普通电磁继电器和固态继电器之间,在制造工艺上类似固态继电器,因此可望大幅度降低造价,是一种有前途的新型继电器.

关键词：微型继电器、MEMS、微加工

所属期刊栏目：22

分类号：TM58(电器)

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：333-334