微尺寸探针测量技术

摘要：

原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度,其针尖半径可达几十纳米量级,这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了可能性.本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器,研制了微尺寸测量系统.

关键词：原子力微探针、坐标测量、电容传感器

所属期刊栏目：22

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：331-332