投影莫尔技术应用于静态物面微小变形测试的研究

摘要：

物面微小变形测试在电子制造、逆工程等领域具有重要意义.本文一改传统机械式相移结构,设计了一种全新的投影莫尔三维轮廓投影成像测试系统.首次利用计算机实时控制变光源实时控制相移,大大提高了系统测试速度(全场测量:4～8sec.).采用垂直投影,双CCD倾斜成像机构,提高了光场的均匀性和可测物范围(测量面积最大可为300300mm2).另外该系统还具有光强照明均匀性好等优点.系统测量精度可达40μm.文中详细分析了系统关键技术,并给出了具体实验结果.结果表明系统的设计原理是成功的.

关键词：投影莫尔、微变型测量、变光源、相移

所属期刊栏目：22

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：西安交通大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：622-625