10.3321/j.issn:0254-3087.2001.05.021
微机械陀螺仪的微结构分析与设计
针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型.经对某微陀螺结构的仿真计算发现,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大,造成电容检测信号极为微弱,无论激励的幅度和频率如何.为此,本文给出了一种新型振动轮式微陀螺结构,可减小哥氏阻尼力,相对增大了激励哥氏力.这种新型结构显著增强了电容检测信号,而且具有双轴微陀螺功能、对耦合线加速度不敏感等特点.
微机械陀螺仪、微电子机械系统、微惯量测量组合、机电系统动力学、微结构设计
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V24(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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