10.3321/j.issn:0254-3087.2001.03.013
一种二维光栅干涉仪的研究
本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件,以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪,从研究光栅表面的光扰动出发,分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系,通过实验分析了干涉仪的调整方法及主要误差,实验结果表明:这种新型二维光栅干涉仪在精密线值计量方面有着良好的应用前景。
正交衍射光栅透射光栅光栅干涉仪
22
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
271-276