10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.030
微机电系统(MEMS)促进测量学发展
本文从纳米、超微角位移测量,及力学、声学、医学测量诸方面说明MEMS促进测量学的发展。通过所举范例,可以看出MEMS在各方面促进测量学发展及其深远的科学意义。其中超微角位移测量的构想以往资料未见,是创新。
微机电系统、MEMS、测量学
22
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
107-110
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.030
微机电系统、MEMS、测量学
22
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
107-110
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn