10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.017
激光荧光扫描光谱仪
本文介绍了一种智能化激光荧光扫描光谱仪,可对大尺寸光致荧光样品进行扫描分析,从而获得需要的整体信息。进一步以发光二极管(LED)外延片为例,介绍仪器进行外延片在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片进行在线检测,给出相关参数。实现智能化检测。
荧光光谱仪、扫描检测、LED外延片、CCD
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TH7(仪器、仪表)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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