直径1mm电磁型实用超微马达的设计

摘要：

微马达是微电子机械系统(MEMS)的核心器件之一,其体积的大小和性能的优劣将直接影响MEMS的总体品质.本文详细论述了直径1mm超微马达的设计思想,并提出将遗传算法应用于超微马达的参数设计.马达运行结果表明其性能指标与设计基本相符,证明遗传算法在微马达参数设计中应用是切实可行的.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、超微马达、遗传算法、约束优化

所属期刊栏目：21

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：163-166