10.3321/j.issn:0254-3087.2000.02.007
热驱动薄膜式微型泵性能的初步分析
对热驱动微型泵的关键部件--铝-硅复合膜片进行了数值计算和分析.发现存在一个合适的交变加热频率范围,使单位时间泵腔体积变化量达到最大;铝膜形状取为圆形比环形有利于得到更大的泵腔变形体积.减薄硅膜厚度和增加铝膜的厚度也能增大泵腔体积变化量.
微型泵、温度场、热应变
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TH7(仪器、仪表)
中国科学院资助项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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