10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.026
0.1μm大行程精密定位控制系统的研究
本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统.本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测.本系统工作行程50mm,定位精度±0.1μm.
精密工作台、精密定位控制
21
TH7(仪器、仪表)
国家科技攻关项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
89-91,94
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10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.026
精密工作台、精密定位控制
21
TH7(仪器、仪表)
国家科技攻关项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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