10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.009
扭摆式硅微加速度计的研究
扭摆式硅微加速度计是一种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向.本文论述了结构组成,分析了工作机理,探讨了提高灵敏度的途径,最后给出了制造工艺和测试结果.
扭摆式硅微加速度计、惯性器件、灵敏度
21
TH7(仪器、仪表)
国防科技预研基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
32-34
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10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.009
扭摆式硅微加速度计、惯性器件、灵敏度
21
TH7(仪器、仪表)
国防科技预研基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
32-34
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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