10.3321/j.issn:0254-3087.1999.06.029
变间隔法实现三维形貌测量
随着生产的发展,对许多工件提出了测量三维形貌的要求.本文提出了在较大光点间隔下实现小采样间隔三维形貌测量的方法.该方法可不改变测量系统光学结构,通过外加简单的装置改变光点间隔,从而实现小采样间隔的三维形貌测量.论文给出了相应的数学模型、测量步骤,并进行了误差分析.
外差干涉系统、三维形貌测量
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TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
651-653