10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.030
用最小二乘法提高CCD干涉计量的精度
本文针对相位型光栅的面形测量,用最小二乘法做二次曲线拟合,解决了CCD光学干涉计量中像素尺寸以及图像采集卡空间量化误差对测量精度的影响,使干涉条纹定位精度提高一数量级以上.对曲线拟合误差进行了讨论,给出了实测结果.
最小二乘法、CCD、干涉条纹
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
100-102
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10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.030
最小二乘法、CCD、干涉条纹
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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