衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统

摘要：

本文介绍以8031单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统.系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法,本系统既具有闭环控制的高精度特点,又具有开环控制简单、易操作等优点.实用表明:该系统控制的刻划机的定位精度σ＝3.6nm,最大定位误差为14.6nm.

关键词：开环控制、光栅干涉仪、幅值细分

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：63-67