10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.013
扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究
单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一.本文对单管式扫描器的结构误差,主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差,进行了实验和理论研究,并提出了一些相应的补偿措施.
扫描探针显微镜、单管式扫描器、结构误差
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
45-48
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10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.013
扫描探针显微镜、单管式扫描器、结构误差
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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