硅谐振梁式压力传感器模拟计算

摘要：

本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构:以2×2mm2的方形硅膜片直接敏感被测压力,膜片的上表面架设有600×50×5μm3两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,谐振梁封装在真空腔内.利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量.针对这种谐振敏感结构的特征,建立其数学模型,通过模拟计算,得到若干规律性的结果,给出一组合理的设计参数.

关键词：硅微结构、谐振梁、压力传感器鼢

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：37-40