10.3321/j.issn:0254-3087.1998.03.009
LSI薄膜台阶测量仪的研制
本文介绍了一台实用化的用于LSI薄膜台阶在线检测的台阶测量仪,它采用精密机械--LVDT--信号处理--计算机控制的方案.使用方便,实现了台阶的自动测量.实验表明:仪器重复测量精度可达±0.0147μm,很好地满足了LSI生产线上的要求.
台阶测量、触针、片簧支承、模糊控制
19
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
268-273
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10.3321/j.issn:0254-3087.1998.03.009
台阶测量、触针、片簧支承、模糊控制
19
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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