10.3321/j.issn:0254-3087.1998.01.009
计算机自动控制的热壁低压MOCVD系统的建立及其应用
本文根据金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统的原理和特点,建立了计算机自动控制的热壁低压MOCVD系统.我们首次采用热壁低压MOCVD方法在制备高质量薄膜的同时,制备出了纳米微粉.
自动控制、MOCVD、热壁、低压应用
19
TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
45-49
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10.3321/j.issn:0254-3087.1998.01.009
自动控制、MOCVD、热壁、低压应用
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TH7(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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