软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析

摘要：

随着半导体产业技术发展,提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质越来越重要.国内目前普遍采用软轴单晶炉进行锗、硅单晶棒生产,软轴单晶炉相对硬轴单晶炉具有结构紧凑,运行可靠、设备成本低等的优点,但是软轴单晶炉由于软轴系统类似于单摆和弹簧振子的结构特点,容易产生固有共振干扰,存在对晶体品质不利的影响因素.对这些干扰因素、解决措施进行了简要分析和讨论.

关键词：单晶、软轴单晶炉、固有干扰

所属期刊栏目：48

分类号：TF063(一般性问题)

在线出版日期：2019-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：65-71