数值建模在电子级多晶硅制备中的应用

摘要：

利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线.经实践检验,利用模拟工具得出的运行参数有利于电子级多晶硅的制备,建模工作在电子级多晶硅的生产上取得了很好的效果.

关键词：电子级多晶硅、还原炉、数值建模、还原运行曲线

所属期刊栏目：48

分类号：TM914.4+1

资助基金：云南省科技厅省院省校合作专项“电子级多晶硅产业化关键技术攻关及应用”2014IB003

在线出版日期：2019-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69