超导铌腔电抛光去除厚度的控制方法

摘要：

我公司和北京大学于2017年共同建立了电抛光(electro-polishing,简称“EP”)装置,并对EP去除厚度的控制方法进行了大量试验,从称重、超声波测厚仪测厚及理论跟踪计算三个方面阐述了超导铌腔EP过程中去除厚度的控制方法.试验主要以理论跟踪计算为主,称重和超声波测厚仪测厚为辅来验证理论跟踪计算的准确性.通过多次EP试验,结果表明理论跟踪计算是控制EP去除厚度最为直接、可靠的一种方法.

关键词：超导铌腔、电抛光(EP)、去除厚度、理论跟踪计算

所属期刊栏目：47

分类号：TQ153.5

在线出版日期：2019-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：68-71,85