多晶硅产品中磁性物质成分及来源控制

摘要：

改良西门子法生产多晶硅产品后处理工艺操作中,会引入Fe、Co、Ni、Cr、Zn等成分磁性物质,该磁性物质会随着多晶硅产品进入到下游铸锭工艺中,最终演变成为多晶硅产品中的体金属杂质,影响下游产品质量.目前,国内多数厂家产品中都会检测到磁性物质存在,已经成为一个共性问题,急需解决.

关键词：磁性物质、成分、多晶硅

所属期刊栏目：47

分类号：TM914.4+1

在线出版日期：2018-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77