大直径锗单晶制备工艺研究及其指标分析

摘要：

采用直拉法(Czochralski method)生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶直径的关系,并对不同直径单晶的晶帽差异进行分析.

关键词：直拉法、锗单晶、工艺参数

所属期刊栏目：45

分类号：TM924.73;O614.43+1

资助基金：昆明市科技计划项目,大直径300-320mm红外级锗单晶产品开发2015-1-H-00583

在线出版日期：2017-02-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52