真空退火对VO2薄膜物相及显微组织的影响

摘要：

以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,先经过在空气中的热处理后再经过真空退火处理得到了以VO2为主相的薄膜.利用X射线衍射和金相显微镜对不同实验条件下得到的薄膜的物相和表面形貌进行分析,得出了VO2薄膜物相及显微组织与真空退火条件之间的关系.

关键词：真空退火、无机溶胶-凝胶法、VO2薄膜、显微组织

所属期刊栏目：37

分类号：TG31(金属压力加工)

在线出版日期：2008-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-42,65