晶体硅太阳电池ZnS/MgF2减反射膜的设计与分析

摘要：

选取ZnS和MgF2两种材料设计了ZnS/MgF2双层减反射膜,并利用TFCalc软件分析了膜层厚度、折射率以及光入射角对双层膜系有效反射率的影响.结果表明:ZnS和MgF2的最佳物理厚度分别为67.86 nm和119.14 nm,此时达到最小有效反射率3.37％;在380～1200 nm波长范围内,ZnS的厚度对有效反射率的影响比MgF2大;MgF2的折射率对有效反射率的影响比ZnS大;适当降低MgF2折射率可以获得较低的有效反射率.

关键词：晶体硅太阳电池、ZnS/MgF2双层减反射膜、有效反射率

所属期刊栏目：42

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2022-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-17