锐钛矿型TiO2薄膜的研究进展

摘要：

二氧化钛薄膜是一种重要的半导体材料,在传感器、光催化和太阳电池等领域具有广阔的应用前景.二氧化钛薄膜的制备方法决定了其物相结构、物理化学性质、光学和电学特性.简要介绍了二氧化钛的物相结构,综述了锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备方法,分析讨论了它们各自的优缺点,展望了其未来的发展趋势.

关键词：锐钛矿型TiO2、薄膜制备方法、物相结构、原子层沉积、研究进展

所属期刊栏目：40

分类号：TQ134.1

资助基金：国家自然科学基金资助项目;云南省基础研究重点资助项目;云南省高校科技创新团队支持计划资助项目

在线出版日期：2020-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：15-22