金刚石线切割多晶硅片的表面织构研究

摘要：

采用HNO3∶HF∶ H2O=5∶ 1∶3.4和HNO3∶HF∶ H2O=8∶ 1∶3.4两种腐蚀液体系,研究了HNO3浓度、腐蚀液温度、腐蚀时间对金刚石切割多晶硅片表面腐蚀的影响,分析了制绒后的多晶硅表面形貌与表面反射率的关系.实验结果表明:HNO3∶HF∶ H2O =5∶ 1∶ 3.4腐蚀液体系优于HNO3∶ HF∶H2O=8∶1∶3.4腐蚀液体系;在HNO3∶ HF∶H2O=5∶1∶3.4腐蚀液体系,腐蚀液温度为9℃,腐蚀时间为100 s的条件下,获得均匀的表面刻蚀纹,具有较低的表面反射率,其平均反射率低于19％.

关键词：多晶硅、金刚石线锯、酸刻蚀、制绒、反射率

所属期刊栏目：39

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：云南省院士专家工作站资助项目周国富专家工作站,2017IC011

在线出版日期：2019-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30