基于COMSOL的声表面波声场调控仿真

摘要：

声表面波(SAW)如今被广泛应用于微流控技术,为了满足多尺度、多功能的微流控需要,在压电基底材料不变的情况下,利用COMSOL有限元软件仿真探究了声学微结构对SAW芯片的声场调控特性,实现了SAW芯片表面声场强度的增益及声场区域的调控.

关键词：声表面波、微流控、声场调控、声学微结构、压电基底

所属期刊栏目：38

分类号：O426.4(声学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61671414;山西省青年基金资助项目201601D202035;中国博士后科学基金资助项目2017M611198

在线出版日期：2018-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43