磁控溅射法制备大晶粒铜锌锡硫薄膜的研究

摘要：

采用磁控溅射Cu、Sn、Zn金属单质靶制备铜锌锡(CZT)金属预制层,在220℃下合金,然后在高温610℃硫化配合低速升温工艺对CZT前驱体进行退火,制备出晶粒尺寸为1～2 μm的Cu2ZnSnS4 (CZTS)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)对薄膜样品进行结构、表面形貌和组分表征.最后沉积缓冲层、ZnO窗口层,蒸镀Al电极,制备出CZTS薄膜太阳电池,测量得到电池开路电压(Voc)为574 mV,短路电流密度(Jsc)为8.98 mA/cm2,填充因子(FF)为37.8％,电池转换效率为1.95％.

关键词：CZTS薄膜、太阳电池、磁控溅射、硫化

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分类号：TM914.4+2

资助基金：国家自然科学基金资助项目61176127,61006085,11474248;国家国际科技合作计划重点资助项目2011DFA62380

在线出版日期：2017-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24