TiO2薄膜的制备方法研究

摘要：

通过对各种TiO2薄膜制备方法的对比,得到:磁控溅射法是目前制备TiO2薄膜的最佳方法;离子束溅射法和热解法尽管相关研究较少,但是值得进一步研究.

关键词：二氧化钛、薄膜、制备

所属期刊栏目：34

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2014-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-55