增强广谱吸收硅表面

摘要：

为增强黑硅的广谱吸收性能,在氢氧化钠/异丙醇(NaOH/IPA)体系下对单晶硅进行金字塔表面织构的基础上,采用金纳米粒子辅助湿法化学方法做了进一步刻蚀.利用扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-近红外分光光度计对表面形貌和反射光谱进行了表征与测量.结果表明:增强广谱吸收硅表面具有纳米/微米双尺寸陷光结构,在350～2 500 nm波段平均反射率低于5.5％.

关键词：黑硅、增强广谱吸收、金字塔绒面

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61066004,U1037604

在线出版日期：2014-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：36-39