Al2O3薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用

摘要：

氧化铝薄膜因对晶体硅材料具有理想的钝化效果,在晶体硅太阳电池领域被认作是一种优良的减反射材料.概述了氧化铝薄膜的钝化特性,主要制备方法等研究现状.分析认为:磁控溅射法具有成膜均匀性好、质量高、沉积速率快、成本低、易控制等诸多优势,因此该方法在太阳电池的工业化领域具有广阔的应用前景.

关键词：氧化铝薄膜、钝化、减反射、制备方法、太阳电池

所属期刊栏目：33

分类号：TK515(特殊热能及其机械)

在线出版日期：2013-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24