RTP硅太阳电池的研究进展

摘要：

用快速热处理(RTP, Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池p-n结开辟了一种新的低成本技术.这些年许多科研机构对RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究.文章主要介绍了RTP快速扩散模型和回顾了RTP硅太阳电池的发展过程,提出了RTP硅太阳电池研究的一些发展方向.

关键词：RTP硅太阳电池、快速热扩散、单晶硅太阳电池、多晶硅太阳电池

所属期刊栏目：23

分类号：TM914

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA513040

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：25-33