陶瓷硅材料的制备及其特性

摘要：

文章研究了用来作为多晶硅薄膜太阳电池衬底的陶瓷硅材料的制备方法及其结构.对不同烧结条件制备的样品进行了XRD和SEM的测试和分析.测试分析的结果表明:形成了表面平整的陶瓷硅材料.用此方法可以获得性能良好的硅太阳电池衬底材料.

关键词：硅薄膜衬底、陶瓷硅、制备、结构

所属期刊栏目：23

分类号：TM914

资助基金：云南省院省校合作项目99YSJ01

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24