PLC在电子束单晶熔炉控制系统中的应用

摘要：

介绍了电子束单晶熔炉的工作原理,对控制原理进行了分析,提出用西门子200系列的可编程程序控制器对电子束单晶熔炉进行逻辑控制.结合电子束单晶熔炉对控制系统的要求,分别对控制软件的作用和构成进行了详细的说明.控制系统运行表明:控制系统的软、硬件功能比较完善、工作可靠.

关键词：PLC、电子束单晶熔炉、控制系统

所属期刊栏目：29

分类号：TF134;TP272(冶金技术)

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：57-59