金属氧化物薄膜晶体管的激光退火

摘要：

金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)具有较高的载流子迁移率(10～100 cm2/V·s),且薄膜均匀性好、制备温度低和可见光透明的优点,被认为是最有前途的新一代TFT.激光退火因具有能量高、速度快、对衬底损伤小和退火范围可控的特点,相比传统热退火,更适用于柔性和大尺寸背板的制备.本文综述了有关金属氧化物薄膜及MOTFT激光退火的研究进展;详细讨论了激光退火中的关键参数;系统阐述了激光对金属氧化物薄膜的作用以及激光对MOTFT性能的影响.最后,总结了现在激光退火技术存在的问题以及发展方向.

关键词：激光退火技术、金属氧化物、薄膜晶体管、氧空位

所属期刊栏目：35

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金重大集成项目;广东省基础与应用基础研究重大项目;广州市科技计划项目;中央高校基本科研业务费专项资金;季华实验室自主立项项目;2019年广东大学生科技创新培育专项资金;国家级大学生创新创业训练计划;华南理工大学百步梯攀登计划研究项目

在线出版日期：2020-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1211-1221