TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响

摘要：

通过对TFT-LCD行业用显影液浓度(质量分数)C1和其中酸根离子浓度(质量分数)C2与半色调光刻胶膜厚(Half Tone Thickness,THK)的影响研究,提出了改善THK波动的方法.首先,固定光刻工艺生产条件,采用单因素实验法分别对C1和C2对THK的影响进行试验,研究表明,C1、C2的变化都会影响显影液的显影能力,导致THK的变化,且都呈线性负相关.其次,根据C1和C2变化对THK的影响程度,将二者之间建立公式对应关系,通过系统对C1进行调整,改善C2波动的影响.最终将关系公式导入系统,稳定了显影能力,有效改善了THK的波动,沟道相关不良发生率从0.20％以上降低到0.03％以下.

关键词：显影液、浓度、酸根离子、半色调膜厚、波动

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2020-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1161-1165