硅上液晶显示器件结构的优化

摘要：

对于硅上液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)器件而言,由于其像素间距较小,当某一像素施加电压后,会影响其相邻不加电压的像素的光学特性.为了改善这一情况,本文通过建立一种常白型LCoS的三维光学模型,研究了3种参数对相邻不加电像素边缘的影响.结果 表明:(1)相邻像素边缘暗态的位置和面积会随着液晶分子取向的改变而改变,当液晶分子取向方向为45°时,相邻像素边缘受影响的程度最小;(2)液晶盒的厚度越大,相邻像素边缘受影响的程度越大;(3)像素间距对相邻像素边缘的影响是变化的.本文条件下,当像素间距为0.7 μm时,加电的中央像素对周围像素的反射率的影响最小.本研究的结论对高分辨率LCoS的设计和制备具有一定的指导意义.

关键词：硅上液晶、相邻像素、反射率、液晶盒厚、像素间距

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分类号：TP141.9(自动化基础理论)

资助基金：国家重点研发计划2018YFB0703701;国家自然科学基金61475042

在线出版日期：2019-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：945-951