彩膜微观缺陷修补自动化实现和效率提升

摘要：

为了提高设备智能化作业,节省人力,对彩色滤光膜微观缺陷自动化修补进行了研究.通过最小循环比对法,修补设备能实现自动查找缺陷 、确认缺陷精确位置并自行选择研磨 、激光或填色等修补作业方式的功能,替代人工角色.经统计,自动修补成功率为99.8％,与人工修补成功率99.9％ 接近,满足生产需求.8.5代线CF工厂自动化修补导入后,该岗位人员配置由20人降低为7人.进一步地,通过赋予检测设备给基板判级功能,使不需要修补的基板不进入修补设备,优化了基板流向和设备负荷.优化后,BM、RGB和PS修补工序平均修补一个卡夹的时间分别减少了24％ 、12％和6％,提升了修补效率.

关键词：彩色滤光膜、微观缺陷、修补、自动化

所属期刊栏目：34

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2019-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：652-658