叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究

摘要：

本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题,即叠层隔垫物高度控制、主附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等,并提出了解决方案.在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成一定的叠层高度后,采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦,通过控制像素开口部分OC的厚度,可以实现叠层隔垫物高度的控制.采用改变叠层图案设计的方法形成主-副隔垫物高度差(Main-sub段差),段差达成范围是0.4～1.2 μm,达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平,但成本却大幅降低.并且验证了采用形貌追随型OC材料覆盖可以较好的保持OC工艺前形成的Main-sub段差.基于以上技术制备了4 Mask彩色滤光片原型机.

关键词：彩色滤光片、叠层隔垫物、形貌追随型平坦化材料

所属期刊栏目：32

分类号：O472+.1(半导体物理学)

资助基金：京东方科技集团股份有限公司研发项目基金No.2013013BOE R&D Project Fund 2013013

在线出版日期：2018-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：956-960