白色光阻材料在O GS工艺中的应用

摘要：

分析了白色光阻材料在不同温度、不同厚度和不同化学品浸泡下色度值、分辨率和附着力的变化情况.验证了白色光阻材料在 OGS(One glass solution)触摸屏生产中的工艺条件.首先,关注白色光阻材料的光密度值(OD值)、分辨率、耐化性、耐高温性能以及在不同厚度下白色光阻材料的色度变化.然后对白色光阻材料和触摸屏制作工艺进行工艺整合,提出了采用白色光阻加黑矩阵的双层结构,可以保证白色光阻材料的 OD值,防止后面的金属线被透视出来,其中白色光阻的厚度控制在15μm,黑矩阵的厚度在1．2μm.在后续的 Photo 工艺时,调整工艺参数,加大了 PR 的厚度并加大曝光显影时间,成功解决了这种高段差造成的金属线 Open和 Remain问题,并采用 OGS工艺制作了白色光阻触摸屏样品.

关键词：白色光阻、色度、耐化性、光密度

所属期刊栏目：31

分类号：O472+.1(半导体物理学)

资助基金：京东方科技集团股份有限公司研发火种基金项目FR25

在线出版日期：2016-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：525-531